サンプル 1: 和英, 技術翻訳
1. 緒言
精密機械加工において、加工力による工作機械の変形は、 加工精度を低下させる大きな要因の一つである。一般に、加工精度を向上させるためには、フレームやチャック、ツール 等の剛性を上げる、受動的な手法がとられている。そのため、高精度加工を実現しようとすると、装置が大型に、あるいは重量が大きくなり、また構造が複雑になってしまう。それに対して、筆者らは別のアプローチを試みた。すなわち、加工力を検出し、それに応じて工作機械の変形を打ち消す、能動的な補償を行うものである。
1. Introduction
Deformation of the machining tool itself, due to cutting force, is one of the major causes of machining error in precision machining.  Such conventional methods of adding rigidity to the machine frame, chuck, and tool for higher precision make the machines larger, heavier and more complex.  The authors propose a different solution to the problem that measures the machining force, and actively compensates the machine deformation.
図1(a)は、一般的な機械加工装置の図である。加工力は 機械の中を流れ、それは力線で表すことができる。力線は、工具を始点、ワークを終点とするC字状のサークル(Cループと呼ぶ) を構成する。加工力による工作機械の変形は、このCループに沿って生じる。Cループの始点と終点のずれが 加工誤差となる。そこで、この加工力を検出し、加工力から工作機械の変形を推定し、それを打ち消す補償を行ってみる。この様子を図1(b)に示す。 筆者らは、これまでにコンブライアンスを任意に制御することのできるアクティブ力センサを提案してきた。 このセンサを用いると、力を受けると縮まずに伸びるようにな、ネガティブなコンブライアンス特性を実現 できる。
Fig.1(a) shows general configuration of a machining system.  Machining force is expressed by a curve.   The force flow curve forms a 'C' loop starting at the machining tool and ending at the work.  The machining system deforms along the C loop, and dislocation of the start and end points causes machining error.  Fig.1(b) sketches how we compensate the machining error.  The dislocation is corrected by detecting the machining force and estimating the machine deformation.  The authors previously proposed a force sensor with actively controlled compliance[1].  This sensor provides negative compliance.  The sensor deforms in the direction opposite to the force applied.
本研究では、機械加工プロセスの解析を行い、 ネガティブコンブライアンスを用いて加工誤差を補償できることを導いた。また、ネガティブコンプライアンスによる 加工誤差の補償を検証するために、平面研削においてリング状アクティブ力センサを用いた3軸ネガティブコンブライアンス システムを開発した。さらに、カップ砥石と水圧タービンモ−タを用いた平面研削装置を開発し、実際にシリコンウェハを研削して 加工誤差の補償を評価した。

This paper reports our analysis of the machining process to compensate machining error using negative compliance.  It further shows a 3-axis negative compliance planar grinding system using a ring-shaped active force sensor we developed to verify our method.  It also evaluates our method of machining error compensation from tests using a planar grinding system, we developed, with a cup grinder and water pressure turbine motor that actually grinds silicon wafers.
2.切削プロセス解析
図2(a)に従来の切削プロセスを示す。システムが、 切削工具をあらかじめ決めたパス上に送るが、加工表面は意図した形状と異なる。加工力により、被削材や切削機械全体が、 たわんで切錯誤差(スプリングバック)を生じるのである。
2. Machining process analysis
Fig. 2(a) sketches the conventional machining process. Even if the system controls the machining tool to follow a predetermined trajectory, the resulting surface differs from the desired shape. The machining force deforms the tool, the work piece and the structural frame to produce machining error (spring-back).
図2(b)に、ネガティブコンブライアンスを用いた機械加工 プロセスを示す。スプリングバックを補償するため、ネガティブコンブライアンス特性を持ったアクティブ力センサが、追加切り込み を発生させる。初期の切り込み量をZとすると、加工力F、スプリングバックS、加工誤差Eは、次の式で、あらわすことができる。 式(1)、式(2)、式(3)、ただし、添字の0は初期の値という意味である。Cmはエコンブライアンスであり、(切り込み量)/ (加工力)の比として定義される。 Csは加工装置のコンブライアンスである。
Fig. 2(b) shows the machining process with negative compliance. To compensate the spring-back, the negative compliance device adds cutting depth. When the initial depth of cut is Z, the following equations (1), (2), and (3) describe machining force F, spring-back S and machining error E, respectively. The suffix 0 indicates initial state. Cm is machining compliance defined as the ratio (cutting depth)/(machining force). Cs is the machining system compliance.